案例分享：使用Microtrace OVA 在线重金属分析仪监测半导体废水中锡、铅、铜

 背景信息

某半导体工厂在制造过程中产生含有锡、铅、铜的废水，需要对废水排放中这些金属的浓度进行在线监测，以确保排放符合当地法规要求。该用户曾使用传统实验室极谱法进行重金属分析，但该方法无法满足日趋严格的监管法规对环境影响的要求。

传统实验室极谱法使用汞基电极（如滴汞、悬汞电极）对锡、铅、铜等金属进行分析。由于测试过程中滴汞电极表面不断更新，分析废液中含有大量的单质汞，可能对环境造成严重的二次污染。同时，传统极谱法需要实验室条件与高纯度氮气供应，仪器操作难度与维护要求较高。由于单质汞对环境与人体的毒性，欧盟部分国家如瑞典已禁止滴汞电极的销售。

                                                   

瑞士的汞管理方案图示

Microtrace OVA绿色化学监测解决方案

 

自上世纪80年代以来，现代水务致力于电化学重金属检测方法的研究，已开发针对超过24种重金属元素的精确、环境友好的分析方法。这些方法使用不含单质汞的电极，包括裸碳电极、金电极、铋电极，和大幅降低汞污染的汞膜电极等。

本案例中，该半导体工厂用户使用配备金、铋双电极的Microtrace OVA 7100 Dual Cell在线分析仪，实现了对两个工艺点位排放废水中锡、铅、铜的在线自动监测。为避免制造过程中有机物污染对检测的干扰，用户安装了选配的紫外消解模块以应对可能发生的有机物突增情况。                                             

 

                                                            

Microtrace OVA 在线分析性能

该用户使用Microtrace OVA在线重金属分析仪对实际样品以及加标废水样品的监测数据表明，在超过10天的连续运行周期中，仪器对锡、铅、铜的分析精度良好，结果稳定性佳，未产生明显基质效应干扰。

                  

                                               Microtrace OVA半导体废水在线监测数据，样品实际浓度均在1mg/L左右

                     

                                                              Microtrace OVA对加标废水样品平行样分析数据

                     

                                                            Microtrace OVA 使用无汞电极分析锡、铅、铜伏安图

OVA 7100 在线重金属监测仪

OVA 7100 重金属在线监测仪以其品质、可靠性、易用性在全球享有盛誉。OVA 7100 在线监测仪应用伏安法测试技术，符合USEPA，NIOSH，ASTM，DIN，AOAC 等方法标准。OVA 7100 适用各种水体水质，可快速精确测定样品中浓度低至μg/L级别的重金属。

• 支持检测 23 种重金属元素

• 高精确性和可重复性

• 与实验室分析方法（AAS, ICPMS）有极强相关性

• 24 小时不间断监测，确保不错过污染事件

• 可自定义输出信号，样品超量程或系统故障警报

• 自动检查泵运行状态以及试剂/样品进样状况

• 可连接至过程控制中心并整合至工艺自动控制系统中